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崗位職責(zé) 1.負(fù)責(zé)蝕刻機(jī)（含干泵、射頻、氦漏、溫度控制系統(tǒng)等）的緊急維修與日常故障處理 2.解決蝕刻機(jī)五大核心系統(tǒng)（射頻/特氣/真空/傳送/冷卻）異常問題，包括氣體泄漏、冰水機(jī)冷媒故障等 3.執(zhí)行設(shè)備復(fù)相關(guān)機(jī)型保養(yǎng)計(jì)劃，完成針閥/APC閥/氣動(dòng)閥定期維護(hù) 5.管理備件更換BOM清單，確保保養(yǎng)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確錄入系統(tǒng) 6.實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)射頻系統(tǒng)反射率/功率、機(jī)臺(tái)稼動(dòng)率及大顆粒污染風(fēng)險(xiǎn) 7.識(shí)別硬件潛在故障點(diǎn)，制定預(yù)防性維護(hù)方案 8.配合工藝部門優(yōu)化設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性 67任職要求 1.熟悉五大系統(tǒng)（射頻/特氣/真空/傳送/冷卻）結(jié)構(gòu)原理與維修 2.熟悉干泵/氦檢漏/溫度控制等子系統(tǒng)調(diào)試，具備備件自主維修能力 3.掌握8D問題分析法、TPM維護(hù)體系及低壓電工操作 67經(jīng)驗(yàn)要求 1.3年以上半導(dǎo)體設(shè)備維修經(jīng)驗(yàn)，有maxis設(shè)備移機(jī)/復(fù)機(jī)案例 2.應(yīng)急響應(yīng)：針對(duì)長宕機(jī)問題具備快速復(fù)機(jī)能力（≤4小時(shí)） 3.大專以上學(xué)歷，機(jī)械相關(guān)專業(yè)